特許
J-GLOBAL ID：200903021407560585
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沼形 義彰 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-097860
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295174
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 絶対圧力方式もしくはシールドゲージ圧力方式の圧力センサの構造を提供する。【解決手段】 圧力検出空間に連通する流体導入孔11と、該導入孔の開口の周囲に設けた環状突起12と、周辺上端に肉薄の立上部15とを有する金属製のハウジング10と、底部31とつば部33を有する金属製の圧力ケース30と、絶縁性材料からなるコネクタケース40とからなり、ハウジングと圧力ケースとコネクタケースを積み重ね、ハウジングの肉薄の立上部をかしめて一体化して形成した内部空間に圧力検出用のセンサエレメント20と電気回路とを収容した圧力センサにおいて、ヘッダ21の底面を環状突起12上に載置し溶接して気密に溶着固定し、圧力ケース30のつば部33をハウジング10の平坦面14上に配置し溶接して気密に溶着固定し、センサエレメントとハウジングと圧力ケースによって形成された気密な内部空間35を参照圧力空間とする。
請求項（抜粋）：
圧力検出空間に連通する空間と周辺上端に肉薄の立上部を有する金属製のハウジングと、底部を有する金属製の圧力ケースと、絶縁性材料からなるコネクタケースとからなり、ハウジングと圧力ケースとコネクタケースを積み重ね、ハウジングの肉薄の立上部をかしめて一体化して形成した内部空間に圧力検出用のセンサエレメントと電気回路とを収容した圧力センサにおいて、ハウジングは空間の底部に開口する圧力検出空間に連通する流体導入孔と、底部の流体導入孔の開口の周囲に設けた環状の突起とを有し、センサエレメントは半導体基板に形成した圧力検出素子とガラス製の上部台座とシリコン製の下部台座と金属製のヘッダとを積み重ねて構成され、圧力ケースは底部の周辺から立下がる周壁と下端の平坦面を有し、前記センサエレメントのヘッダの底面を前記ハウジングの環状突起上に載置し、ヘッダ底面と環状突起を溶接して気密に溶着固定し、前記圧力ケースの周壁の下端の平坦面をハウジングの空間に形成した平坦面上に配置し、圧力ケース周壁の下端の平坦面とハウジングの空間の平坦面を溶接して気密に溶着固定し、センサエレメントとハウジングと圧力ケースによって形成された気密な内部空間を参照圧力空間としたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
G01L 9/04 101
, H01L 29/84 B
