特許

J-GLOBAL ID：200903021408269132

レーザ加工装置

発明者： 下村 義昭 ,  三柳 直毅 ,  多田 信彦 ,  桜井 茂行
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218505
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068396
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】ワークの加工面上におけるレーザ光のスポット径を、短時間かつ容易に、加工目的に応じた適切な大きさに調整することができるレーザ加工装置を提供する。【構成】レーザ光2より取り出したサンプル光32をフーリエ変換レンズ34で集光し、光検出器35でそのフーリエ変換像を得る。また、そのフーリエ変換像に基づくデジタル信号38をもとに演算部37でレーザ光2の拡がり角θを算出し、さらにこの拡がり角θから調整機構部、即ち凸レンズ5及び集光レンズ9の調整量を算出する。そして、この調整量の値に基づいてコントローラ17の制御のもとに位置調整装置7及び11、従って凸レンズ5及び集光レンズ9の位置を自動的に調整する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を出力するレーザ発振器と、ワークの加工面におけるレーザ光のスポット径を調整する調整機構部を備え前記レーザ光を前記加工面まで誘導する加工用光学系と、前記ワークを載置する加工テーブルとを有するレーザ加工装置において、前記レーザ発振器から出力されたレーザ光の一部をサンプル光として取り出す減光光学系と、前記サンプル光をフーリエ変換するフーリエ変換レンズと、前記フーリエ変換レンズによるフーリエ変換像を検出する光検出手段と、前記フーリエ変換像を解析することによりエネルギ分布を得る解析手段と、前記エネルギ分布より前記レーザ光の拡がり角を算出しこの拡がり角の値より前記調整機構部の調整量を演算する演算手段と、前記調整量の値に基づいて前記調整機構部を制御する制御手段とを有することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/04 ,  G02B 27/09