特許

J-GLOBAL ID：200903021413819779

圧電ポンプ

発明者： 栃原 功 ,  佐野 光範
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013379
公開番号（公開出願番号）：特開平5-202857
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】 圧電素子を利用し、小型の装置で液体を搬送でき、また、流路部を容易に交換できるポンプを提供する。【構成】 図中符号1a,1b,1c,1d,1eは一方の端面がシリコンチューブ2と外接し他方の端はベース台8に接着剤等で取付けられた積層型電歪効果素子である。これらの素子に順に電圧を印加することによりシリコンチューブ2に順に押しつけシリコンチューブ2内の液体を搬送することができる。

請求項（抜粋）：

弾性を有する流路部と前記流路部に外接する圧電素子と前記圧電素子を駆動する駆動回路とで構成されたことを特徴とする圧電ポンプ。

IPC (3件)：

F04B 43/12 ,  F04B 9/00 ,  F04B 43/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-107585
  
• 特開平2-004382
  
• 流体搬送装置、及び流体搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-323268   出願人：キヤノン株式会社