特許
J-GLOBAL ID：200903021417792468
静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-297027
公開番号（公開出願番号）：特開平5-136254
出願日： 1991年11月13日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】半導体集積回路の製造検査工程で使用される電子ビーム描画装置の試料保持装置に係り、静電吸着力を利用する静電チャックの発熱の問題を解決する。【構成】静電チャック板2の印加電圧は信号発生回路7によって変化させ、吸着開始より一定時間後に初期印加電圧より低下させる。【効果】吸着開始時には反った試料をも吸着できるように十分高い印加電圧とし、その後、吸着状態を保持できる限度まで印加電圧を低下させることにより、静電チャック部の発熱を減少させることができ、試料の熱膨張の問題を解決することができる。
請求項（抜粋）：
試料を静電力によって吸着固定する静電チャック装置において、吸着のための印加電圧を変化させる手段を設けたことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, H01L 21/66
