特許

J-GLOBAL ID：200903021424017330

液晶表示装置及びその製造方法

発明者： 美濃 美子
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-316287
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169967
出願日： 1993年12月16日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 液晶表示装置のアンダーコート膜はガラス基板と以降のプロセスで形成されるトランジスタ層との層間にあって、ガラス基板からトランジスタへの汚染防止膜として多く一般に用いられている。また、液晶表示装置のゲート・ソース引出し電極がAlあるいはAlの合金膜で直接的に引き出されると、高温高湿試験においてAlが腐食しやすいという問題点があった。【構成】 ゲート電極およびソース電極が直接外部に引き出されてなる本発明の液晶表示装置は、ゲート電極となる金属膜とソース・ドレイン電極となる金属膜がTiとAlの積層膜で構成され、ゲート電極をガラス基板上に直接形成する構成とする。

請求項（抜粋）：

薄膜トランジスタアレイを形成する液晶表示装置において、薄膜トランジスタのゲート電極及びソース電極の信号入力用外部引出し電極の構成が直接外部へ引き出されて成り、前記ゲート電極及びソース電極の電極構成がTiとAlの積層膜で構成されて成ることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/136 500

FI (3件)：

H01L 29/78 311 G ,  H01L 29/78 311 S ,  H01L 29/78 311 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-131578
  
• 特開平1-120068
  
• 特開平4-198923
  
• 薄膜トランジスタパネルの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-130478   出願人：富士通株式会社