特許
J-GLOBAL ID：200903021426234818
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055421
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267485
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】エネルギー分散型X線分析装置と波長分散型X線分析装置の同時分析を可能とするため、過剰のX線を防止するX線通過防止板およびX線通過孔を装備した走査電子顕微鏡を提供すること。【構成】走査電子顕微鏡において、波長分散型X線分析装置を用いて分析を行う際、過剰のX線がエネルギー分散型X線分析装置に侵入することを防ぐため、試料とエネルギー分散型X線分析装置との間に穴径の異なる複数のX線通過孔を持つ回転もしくはスライドする二層構造のX線通過防止板を設けた【効果】走査電子顕微鏡を用いたX線分析において、エネルギー分散型X線分析装置と波長分散型X線分析装置の同時分析が可能となる。
請求項（抜粋）：
試料室に挿入された試料に電子線を照射し、前記試料より発生する特性X線を検出するエネルギー分散型X線分析装置,波長分散型X線分析装置と前記電子線を発生する走査電子顕微鏡において、前記波長分散型X線分析装置を用いて分析を行う際、過剰のX線が前記エネルギー分散型X線分析装置に侵入することを防ぐため、前記試料とエネルギー分散型X線分析装置との間に穴径の異なる複数のX線通過孔を持つ回転もしくはスライドする二層構造のX線通過防止板を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/244
, H01J 37/252
