特許
J-GLOBAL ID：200903021429457796
アライメントマーク位置検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289280
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102019
出願日： 1991年10月08日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 アライメントマーク位置の検出誤差を低減し、アライメント処理時間を短縮する。【構成】 被露光物である基板9には、中心から等角度間隔で放射状に伸びるアライメントマーク10が形成される。アライメントマーク10は、荷電子ビーム8に円状に走査される。このときの2次電子検出器11の出力に基づいてアライメントマーク10の中心位置が算出される。
請求項（抜粋）：
荷電子ビーム源と、該ビーム源から出射される荷電子ビームを基板上に集束させるレンズと、該荷電子ビームを偏向する偏向手段とを有し、該偏向手段により偏向されたビームを基板上のアライメントマークに照射し、該アライメントマークの位置を検出するアライメントマーク位置検出装置において、前記アライメントマークは、中心から等角度間隔で放射状に伸びるように形成するとともに、前記アライメントマーク上に照射される荷電子ビームが円状軌跡を描く様に前記偏向手段を制御する走査制御手段と、前記アライメントマークから出射される2次電子を検知するアライメント信号検知手段と、該アライメント信号検知手段の出力に基づいて前記アライメントマークの中心位置を算出する中心位置算出手段とを設けたことを特徴とするアライメントマーク位置検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
