電子プローブマイクロアナライザ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅井英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-086562
公開番号（公開出願番号）：特開平11-283546
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】サーチ動作による自動焦点合わせを常に良好に行う。【解決手段】測定制御装置16は、自動焦点合わせを開始するに先立って、現在の試料ステージの高さ位置を中心としてサーチ動作を行うことができるか否かを判断し、このままではサーチ動作を行うことができないと判断した場合には、予め試料ステージの高さ位置を変更する退避動作を行い、その後にサーチ動作を行わせる。

請求項（抜粋）：

サーチ動作による自動焦点合わせが可能となされた電子プローブマイクロアナライザであって、サーチ動作を開始するときの試料ステージの高さ位置が、サーチ動作時の試料ステージの走査のときに上限位置または下限位置に達すると判断される場合には、試料ステージの高さ位置を変更して退避させることを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ。

IPC (3件)：

H01J 37/252 , G01N 23/225 , H01J 37/147

FI (3件)：

H01J 37/252 Z , G01N 23/225 , H01J 37/147

前のページに戻る