特許

J-GLOBAL ID：200903021443719833

3本の円柱に取り付けられるプラットホームアセンブリを含む研磨装置

発明者： アンダーソン, ロバート, エル. ,  マンセオー, マイケル. ,  デルザ, ジャーナス, アレクサンダー. ,  ブッサン, ジョン, エドワード.
出願人/特許権者： スピードファム-アイピーイーシー コーポレイション
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-512667
公開番号（公開出願番号）：特表2001-517559
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：

【要約】研磨装置は、3本の支持円柱(32-36)に滑動可能に取り付けられたプラットホームアッセンブリ(60)を含む。このアッセンブリ(60)は、互いに結合されて互いに近づき又は離れるように滑動する。リフト板(114)はコイルバネによって最上のプラットホーム(64)上で支持される。これにより、アッセンブリ(60)を通過する支持要素によってリフト板(114)から吊り下げられる上部研磨板(20)上に印加される圧力の調節を可能とする。駆動軸(72-76)は、上に横たわる上部構造から吊り下げられて上部プラットホーム(64)に噛み合う。これにより、アッセンブリ(60)及び上部研磨板(20)を上昇又は下降させる。

請求項（抜粋）：

ワークピースを研磨するための装置であって、 上部構造と、 上部研磨板と、 前記上部研磨板の下に配置される下部研磨板と、 前記上部研磨板の上に配置され、前記上部構造に支持されるプラットホーム手段と、 前記プラットホーム手段から前記上部研磨板を弾力性に富んで吊り下げて支持する吊り下げ支持手段と、及び前記プラットホーム手段を移動させる手段であって、前記上部研磨板を前記下部研磨板に接近し又は離反する手段とを備えた装置。

IPC (2件)：

B24B 7/17 ,  B24B 41/02

FI (2件)：

B24B 7/17 Z ,  B24B 41/02

Fターム (8件)：

3C034AA08 ,  3C034BB04 ,  3C034BB13 ,  3C043BA07 ,  3C043BA13 ,  3C043CC04 ,  3C043CC11 ,  3C043DD03