特許
J-GLOBAL ID：200903021446770422
光電式エンコーダ
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-143908
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326232
出願日： 2004年05月13日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：
【課題】 移動格子の3軸方向の変位を測定でき、小型で安価、かつ、動作安定度の高い光電式エンコーダの提供。【解決手段】 移動格子5には、光束3が回折格子4A,4Bで回折されて生成された6つの光束21a,21b,22a,22b,23a,23bが入射する。これらの光束は移動格子5でそれぞれ回折を受け、光束21b,23bはほぼ同一方向に出射されて受光素子Aで検出され、光束21a,22bはほぼ同一方向に出射されて受光素子Bで検出され、光束22a,23aはほぼ同一方向に出射されて受光素子Cで検出される。受光素子A,B,Cの出力信号に基づいて、エンコーダ処理回路7で干渉光強度の位相情報等の演算が行われ、その位相情報に基づき移動格子5のx軸移動情報、z軸移動情報およびピッチ角度変動情報が得られる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源と、
前記光源の光から、互いに異なる方向に進む少なくとも第1、第2および第3の光束を生成する光学系と、
前記第1、第2および第3の光束が入射し、前記第1,第2および第3の光束の各々について0次光を含む複数の回折光をそれぞれ生成する第1の回折格子と、
(a)前記第1の光束から生成された前記複数の回折光のいずれか一つと、前記第1の回折格子で生成された他の回折光の一つとにより第1の干渉光を生成し、(b)前記第2の光束から生成された前記複数の回折光のいずれか一つと、前記第1の回折格子で生成された他の回折光の一つとにより第2の干渉光を生成し、(c)前記第3の光束から生成された前記複数の回折光のいずれか一つと、前記第1の回折格子で生成された他の回折光の一つとにより第3の干渉光を生成する第2の回折格子と、
前記第1の干渉光を検出する第1の検出部と、
前記第2の干渉光を検出する第2の検出部と、
前記第3の干渉光を検出する第3の検出部と、
前記第1乃至第3の検出部の検出結果から算出される位相情報に基づく演算を行う演算部とを備え、
前記第1および第2の回折格子のうちの一方は可動物体に固定された移動格子であって、前記演算部は前記移動格子の移動方向の変位および移動格子に垂直な方向の変位を演算することを特徴とする光電式エンコーダ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2F103BA43
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103EB06
, 2F103EB16
, 2F103EB33
, 2F103EC03
, 2F103FA00
