特許
J-GLOBAL ID：200903021457979960
LCDパネルの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
香山 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-205872
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051810
出願日： 1997年07月31日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、暗側欠陥検査および明側欠陥検査において、欠陥を抽出するのに最適な画像を得ることができるLCDパネルの検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 暗側欠陥検査用の第1の撮像装置11と、明側欠陥検査用の第2の撮像装置12と、第1の撮像装置11によって撮像された画像に基づいて暗側欠陥検査を行なう第1の検査処理手段と、第2の撮像装置12によって撮像された画像に基づいて明側欠陥検査を行なう第2の検査処理手段とを備えており、第1の撮像装置11は、LCDパネル1の法線方向に対して、暗側欠陥のコントラストが最大となるような視角θ1だけ傾斜した状態で配置されており、第2の撮像装置12は、LCDパネル1の法線方向に対して、明側欠陥のコントラストが最大となるような視角θ2だけ傾斜した状態で配置されている。
請求項（抜粋）：
LCDパネルを撮像する暗側欠陥検査用の第1の撮像装置と、LCDパネルを撮像する明側欠陥検査用の第2の撮像装置と、第1の撮像装置によって撮像された画像に基づいて暗側欠陥検査を行なう第1の検査処理手段と、第2の撮像装置によって撮像された画像に基づいて明側欠陥検査を行なう第2の検査処理手段とを備えており、第1の撮像装置は、LCDパネルの法線方向に対して、暗側欠陥のコントラストが最大となるような視角だけ傾斜した状態で配置されており、第2の撮像装置は、LCDパネルの法線方向に対して、明側欠陥のコントラストが最大となるような視角だけ傾斜した状態で配置されているLCDパネルの検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01N 21/88
, G02F 1/13 101
, G09G 3/18
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 Z
, G02F 1/13 101
, G09G 3/18
