特許
J-GLOBAL ID：200903021458488331
測定前後のTABを画像認識するTAB試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254806
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086355
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 TABを測定前後に画像認識し、誤検出を防止するTAB試験装置を提供する。【構成】 撮像カメラ7Bをテープキャリア11の測定の前段に配置する。撮像カメラ7BはTABの画像を撮像し、撮像カメラ7Bによる第1の画像データを画像処理ユニット9に出力する。撮像カメラ7Cをパンチユニット6の後段に配置する。撮像カメラ7CはTABの画像を撮像し、撮像カメラ7Cによる第2の画像データを画像処理ユニット9に出力する。第1の画像データをTABの測定可否のデータとして制御ユニット10に格納する。第2の画像データを制御ユニット10に送出し、第1の画像データおよびパンチユニット6の打ち抜き結果と比較照合する。
請求項（抜粋）：
TAB試験装置(1) は供給リール(2) と、収容リール(3) と、プッシャ(4) と、第1のスプロケット(5A)と、第2のスプロケット(5B)と、パンチユニット(6) と、第1の撮像カメラ(7A)と、第1の光源(8A)と、画像処理ユニット(9) と、制御ユニット(10)とで構成され、供給リール(2) はテープキャリア(11)を装着し、収容リール(3) は電気試験または分類識別されたテープキャリア(11)を巻き取り、プッシャ(4) はテープキャリア(11)を押下することによりTABをICテスタに接触導通させ、第1のスプロケット(5A)と第2のスプロケット(5B)は同期して回転することによりテープキャリア(11)を移送し、パンチユニット(6) は電気試験の結果によりテープキャリア(11)のTABに識別穴をあけ、またはICチップを打ち抜き、第1の撮像カメラ(7A)は第1の光源(8A)の出射光によるTABの画像を撮像し、画像処理ユニット(9) は第1の撮像カメラ(7A)による画像データを受信して画像処理し、制御ユニット(10)は画像処理ユニット(9) の前記撮像データが入力され、測定時のTABを位置制御するTAB試験装置において、第2の撮像カメラ(7B)をテープキャリア(11)の測定の前段に配置し、第2の撮像カメラ(7B)はTABの第1の画像を撮像し、前記第1の画像データを画像処理ユニット(9) に出力し、第3の撮像カメラ(7C)をパンチユニット(6) の後段に配置し、第3の撮像カメラ(7C)はTABの第2の画像を撮像し、前記第2の画像データを画像処理ユニット(9) に出力し、前記第1の画像データをTABの測定可否のデータとして制御ユニット(10)に格納し、前記第2の画像データを制御ユニット(10)に送出し、前記第1の画像データおよびパンチユニット(6) の打ち抜き結果と比較照合することを特徴とする測定前後のTABを画像認識するTAB試験装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01M 11/00
, H01L 21/60 321
