特許
J-GLOBAL ID：200903021459281587
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037702
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230209
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 重要なエラーアラームの履歴をできるだけ過去に遡って保存する。【解決手段】 メインコントローラ31に構築されたアラームロギング機能部50において、アラーム検出部51がアラームを検出すると、ロギングデータ収集部52はロギングに必要なデータを収集し、アラームレベル判断部53は警報アラームかエラーアラームかを判断する。ファイル書込部54は警報アラームを警報アラームファイル55に、エラーアラームをエラーアラームファイル56に別々に記録する。その後、警報アラームとエラーアラームの両方が表示される際には、ファイル読出部57は警報アラームファイル55とエラーアラームファイル56を結合し、かつ、日付データをキーにソートして、表示部58に警報アラームとエラーアラームを結合したアラーム表示画面を表示させる。【効果】 警報アラームが頻発してもエラーアラームは独立して保存できる。
請求項（抜粋）：
基板処理中に発生したアラームをアラームレベル毎に別々のファイルとして記録するアラームロギング機能を備えていることを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44 B
4K030BA30
, 4K030BA40
, 4K030GA12
, 4K030KA39
, 4K030KA41
, 4K030LA18
, 5F045AA08
, 5F045AB04
, 5F045AB33
, 5F045BB20
, 5F045CA15
, 5F045DQ17
, 5F045EB08
, 5F045GB15
, 5F045HA25
