特許

J-GLOBAL ID：200903021474323881

クリーンルームにおける消火方法及びその装置

発明者： 大見 忠弘 ,  白井 泰雪 ,  今井 捷二 ,  福田 宗治 ,  西村 容太郎 ,  河西 正隆
出願人/特許権者： 大見 忠弘 ,  新晃テクノス株式会社 ,  日立プラント建設株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-141175
公開番号（公開出願番号）：特開平11-076445
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】【課題】初期消火を迅速に行なうことができると共に、清浄室内の人の人命の保護を図ることができ、更には清浄室内に配設された装置等の汚染を極力防止することができる。【解決手段】清浄室30を含むクリーンルーム内で火災が発生したら、外部空調機14から天井チャンバ18内への空調空気の給気を停止して酸素の補給系路を遮断した状態で天井チャンバ18と清浄室の空気循環だけを継続する。この空気循環を継続した状態で、清浄室30内の空気を排出しながら天井チャンバ18内に炭酸ガスと不活性ガスとから成る消火ガスを放出する。天井チャンバ18内に放出された消火ガスは、空気循環により天井面26に配設されたHEPAフィルタ28通して清浄室30内に吹き出される。これにより、清浄室30内の酸素濃度を速やかに低下させて迅速な消火を行なう。

請求項（抜粋）：

空調空気を天井チャンバ内に給気して天井面に配設されたフィルタを通して清浄室内に吹き出すと共に、吹き出された空調空気を前記天井チャンバとの間で循環使用するクリーンルームにおける消火方法に於いて、前記クリーンルームに発生した火災を検出し、前記天井チャンバへの外部からの空調空気の給気を停止し、前記清浄室内と天井室内の間の空気循環を継続させたままで、前記天井チャンバ内に炭酸ガスと不活性ガスとから成る消火ガスを放出し、放出した消火ガスを前記空気循環により前記清浄室と天井チャンバとの間で前記フィルタを介して循環する一方、前記清浄室内の空気排出により前記清浄室の圧力調整を行いながら前記清浄室の空気を前記消火ガスで希釈することを特徴とするクリーンルームにおける消火方法。

IPC (3件)：

A62C 3/00 ,  A62C 39/00 ,  F24F 7/06

FI (3件)：

A62C 3/00 J ,  A62C 39/00 ,  F24F 7/06 C