特許
J-GLOBAL ID：200903021479782744
レーザ加工方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250874
公開番号（公開出願番号）：特開平5-092289
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 被加工物上での加工跡や、所望の方向に形成され、しかも加工精度や速度を高めるレーザ加工方法を提供することを目的とする。【構成】 fθレンズ17とポリゴン・ミラー16とが一体となり、fθレンズ17の中心を回転中心として回転し、さらにポリゴン・ミラー16へのレーザ光の入射角度が一定になるようにすることにより、被加工物18上の加工跡が所望の方向に形成することができる。
請求項（抜粋）：
走行する被加工物の幅方向にパルス・レーザ光で加工するに際し、光学系によって被加工物上におけるビーム形状を長円形に成形し、長円形ビームの長軸方向が被加工物の幅方向に一致し、走査線は所定の加工跡を形成するために被加工物の走行を相殺するような角度と走査方向を有し、走査速度とパルスの繰り返し数は加工跡が連続するように同期されていることを特徴とするレーザ加工方法。
IPC (4件)：
B23K 26/08
, B23K 26/06
, G02B 26/10 102
, H01S 3/101
