特許
J-GLOBAL ID：200903021484443540
ダイヤモンド様の炭素被膜を作製する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-293689
公開番号（公開出願番号）：特開平7-188916
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンド様の炭素被膜を作製する方法を提供する。【構成】 被覆する基板を設ける工程、ガラス質の炭素の陰極又は熱分解グラファイトの陰極を設ける工程、前記陰極上にアークスポットが位置し実質的に巨視的粒子を含まない陰極アーク放電を開始させる工程、及び生じた炭素プラズマを前記基板の方へ向けることにより実質的に巨視的粒子を含まない被膜を前記基板上に形成する工程を含んで成る。
請求項（抜粋）：
被覆する基板を設ける工程、ガラス質の炭素の陰極又は熱分解グラファイトの陰極を設ける工程、前記陰極上にアークスポットが位置する実質的に巨視的粒子を含まない陰極アーク放電を開始させる工程、及び生じた炭素プラズマを前記基板の方へ向けて実質的に巨視的粒子を含まない被膜を前記基板上に形成する工程を含んで成るダイヤモンド様の炭素被膜を作製する方法。
IPC (4件)：
C23C 14/34
, C23C 14/06
, C30B 23/08
, C30B 29/04
