特許
J-GLOBAL ID：200903021487742840
試料台
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-277792
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106317
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 静電吸着した試料の温度を極低温から高温までの広範囲で効率良く調節するとが可能な試料台を提供することを目的とする。【構成】 試料10を静電吸着する静電チャック11と、静電チャック11の下部に配置される冷却槽12とを備えた試料台1であり、静電チャック11は、平板電極101と、平板電極101に形成したスリット106内にこの平板電極101と絶縁状態を保って配置されるヒーター線102と、スリット106内を含む平板電極101の上面に形成される誘電膜103とで構成される。これによって、誘電膜103の上面に静電吸着した試料10の加熱と冷却とが効率良く行われる。
請求項（抜粋）：
試料を静電吸着する静電チャックと、当該静電チャックの下部に配置される冷却槽とを備えた試料台において、前記静電チャックは、平板電極と、前記平板電極に形成したスリット内に当該平板電極と絶縁状態を保って配置されるヒーター線と、前記スリット内を含む前記平板電極の上面に形成される誘電膜とからなることを特徴とする試料台。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, B23Q 3/15
, H01L 21/68
