特許

J-GLOBAL ID：200903021488138246

スタンパー及びスタンパーの製造方法

発明者： 伊納 一平 ,  伴 和夫 ,  磯野 仁志
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265790
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119661
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 スタンパー及びスタンパーの製造方法において、紫外光を透過しやすく、取り扱いが容易で、微細パターンの転写性に優れ、スタンパーと微細パターンを形成した樹脂が良好な剥離性を示す2P用スタンパーを提供する。【構成】 紫外光を透過し得るガラス基板1上に形成された凹凸パターンを持つスタンプ面8上にNi,Ta,Cr等の単体、及びこれらの合金を100Å以下の厚みでコートした。

請求項（抜粋）：

情報信号パターンの反転パターンを有するスタンパー表面に樹脂材料を対向させ、硬化させることにより該情報信号パターンを有する情報記録担体の成形スタンパにおいて、紫外光を透過しない材料からなる基板上に、表面に微細パターンを形成した平坦な石英ガラス等の紫外光透過性材料からなり、Ni,Ta,Cr等の単体、及びこれらの合金からなる金属薄膜層が、100Å以下でコートされていることを特徴とするスタンパー。