特許
J-GLOBAL ID:200903021490426879
積層ダイパッケージの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
桑垣 衛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-181014
公開番号(公開出願番号):特開2007-036219
出願日: 2006年06月30日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】 単純な工程による積層ダイパッケージの製造方法を提供する。【解決手段】 積層ダイパッケージ(50)を形成する方法は、第1の集積回路(IC)ダイ(52)をベースキャリア(56)に取り付けるとともに電気的に接続することを含む。接着材料(54)から成る複数の一連の層(54A、54B及び54C)が第1のダイ(52)上に形成される。第2のダイ(72)が接着材料(54)で第1のダイ(52)に取り付けられ、それによって、一連の接着材料層(54A、54B及び54C)は第1のダイ(52)と第2のダイ(72)との間に所定の間隔(H)を保持する。第2のダイ(72)はベースキャリア(56)に電気的に接続される。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
第1の集積回路(IC)ダイをベースキャリアに取り付ける工程と、
前記第1のダイを前記ベースキャリアに電気接続する工程と、
前記第1のダイ上に、接着材料から成る複数の一連の層を形成する工程と、
前記一連の接着材料層が前記第1のダイと該第2のダイとの間に所定の間隔を保持するように、第2のダイを前記接着材料で前記第1のダイに取り付ける工程と、
前記第2のダイを前記ベースキャリアに電気的に接続する工程とを備える、積層ダイパッケージの製造方法。
IPC (3件):
H01L 25/065
, H01L 25/07
, H01L 25/18
FI (1件):
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