特許
J-GLOBAL ID:200903021492708286

放射照度測定器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-104864
公開番号(公開出願番号):特開平6-317463
出願日: 1993年05月06日
公開日(公表日): 1994年11月15日
要約:
【要約】【目的】紫外波長域で放射照度を精度よく測定でき、斜め入射光特性が余弦則に合致した放射照度測定器を実現する。【構成】放射源1からの紫外線放射2を蛍光発光板3で受光し、その蛍光発光4を発生させる。蛍光板3の側面に、測定放射である185nm成分を除去し、蛍光発光成分の一部である300nmから350nmの発光成分のみを透過する帯域フィルタ5を装着した光検出器であるGaPホトダイオード6を配置し、蛍光発光成分4を検出し、紫外線放射2の放射照度を得る。蛍光発光板3は波長220nm以上の放射を透過し、それ以下の波長の放射を吸収するオゾンレス石英ガラスを使用し、内部に含まれる不純物の一部が波長220nm以下の放射に対して蛍光発光を示す。蛍光発光は励起される不純物ひとつひとつが光源として波長220nm以上の放射を発散するため、その発光の配光は紫外放射2の入射角に対して完全拡散特性を示す。
請求項(抜粋):
ある励起波長帯域の放射に対して蛍光を発し、かつその蛍光スペクトルを透過する板状の蛍光発光板と、前記蛍光発光板の側面に、前記蛍光スペクトルに対して感度を持ち受光面を前記蛍光発光板側に向けて配置した光検出器を備え、前記蛍光発光板に入射した励起波長帯域の放射の量を、その蛍光スペクトルを前記光検出器で測定することにより求めるように構成した放射照度測定器。
IPC (4件):
G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/42 ,  G01J 1/58
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平3-140826
  • 特開平3-188303
  • 特開昭64-047921
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