特許

J-GLOBAL ID：200903021506994120

加速度センサ

発明者： 塩谷 博仁 ,  山田 利貴
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144474
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340956
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】体格、重量の増大を抑止しつつ感度向上が可能な片持ちビーム式加速度センサを提供する。【構成】両片持ちビーム5、5の自由端に設けられたマス6、6が変位すると各片持ちビーム5、5が撓み、各片持ちビーム5、5上の各4個歪みゲージの抵抗値が変化する。これら各4個の歪みゲージは加速度検出方向の力による抵抗値変化を検出し、加速度検出方向と直角な方向への力による抵抗値変化を相殺するように各片持ちビーム5、5上に配設され、かつ、ブリッジ接続されているので、これら各4個の歪みゲージからなるブリッジ回路は加速度検出方向の力すなわち加速度に対してだけ感応する信号電圧を出力する。

請求項（抜粋）：

固定端から所定の一方向に延設され他端にマスが固定される第1、第2の片持ちビームと、異なる前記両ビーム上にそれぞれ所定方向に配設された各4個の歪みゲージを有し、前記各歪みゲージを、所定方向への加速度による各歪みゲージの抵抗値変化を検出し、前記方向と直角な方向への加速度による各歪みゲージの抵抗値変化を相殺するブリッジ回路とを備えることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84