特許
J-GLOBAL ID：200903021517489940
ガラス基板の研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245034
公開番号（公開出願番号）：特開平8-108360
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 効果的に精度良くガラス基板の表面を研磨する。【構成】 研磨ローラ54A、54Bは、巻掛られている研磨テープ56をガラス基板の表面に接触させながら研磨テープの走行によって回転する。この研磨ローラの回転軸100は、軸受け部102に回転自在にかつ軸線方向(矢印B方向)に沿っては一体に移動可能に係合されている。この軸受けは、揺動モータ112によって偏心して回転する偏心カムに係合したブラケット110が連結されている。このため研磨ローラは、揺動モータの駆動によって回転する偏心カムによって軸線方向に沿って往復移動する。このため、研磨テープは、矢印A方向と反対方向へ走行するときに幅方向に揺動し、ガラス基板の表面を効果的に研磨するようになっている。
請求項（抜粋）：
ガラス基板の表面を研磨部材によって研磨するためのガラス基板の研磨装置であって、前記ガラス基板を所定の位置に保持して移動する移動テーブルと、前記移動テーブルの上方に軸線が移動テーブルの移動方向と直交すると共に移動テーブルの表面と平行となるように配置され、外周部に取付けられた前記研磨部材を前記ガラス基板の表面に接触させながら回転する研磨ローラと、前記ガラス基板に接触しながら回転する前記研磨ローラを軸線方向に沿って揺動する揺動手段と、を有することを特徴とするガラス基板の研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 21/12
, B24B 21/00
, G02F 1/1335 505
