特許
J-GLOBAL ID:200903021520126190

原子反射光学素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 洋介 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-100825
公開番号(公開出願番号):特開2002-296394
出願日: 2001年03月30日
公開日(公表日): 2002年10月09日
要約:
【要約】【課題】 反射強度の強められた原子反射光学素子を提供すること。【解決手段】 原子波(ドブロイ波)の反射型光学素子である原子反射光学素子において、その反射率を上げるためには、反射表面の見かけの原子密度を少なくすればよい。例えば、多孔質表面構造や、極薄の薄膜を支持する構造、又は、反射回折格子の島状部(反射面)を狭くした構造などによって、反射表面の見かけ上の原子密度を少なくすることができる。このような構成を採用した原子反射光学素子によれば、強い原子波コヒーレント反射強度が得られる。
請求項(抜粋):
入射される原子を反射するための反射部を有する原子反射光学素子において、前記反射部は、反射基部層と、該反射基部層の原子入射側に設けられた反射表面層とを備えており、前記反射表面層は、前記反射基部層よりも実効的に少ない原子密度を有することを特徴とする原子反射光学素子。
IPC (2件):
G21K 1/06 ,  G02B 5/32
FI (2件):
G21K 1/06 C ,  G02B 5/32
Fターム (10件):
2H049AA07 ,  2H049AA25 ,  2H049AA37 ,  2H049AA44 ,  2H049AA55 ,  2H049AA65 ,  2H049CA05 ,  2H049CA06 ,  2H049CA08 ,  2H049CA11

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