特許

J-GLOBAL ID：200903021522760768

真空表示装置付き圧力センサー

発明者： ネット,トーマス エー. ,  ラフ,ジェイムズ ,  シュールト,ジョン ピー.
出願人/特許権者： ローズマウント インコ.
代理人 (1件)： 平木 道人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070907
公開番号（公開出願番号）：特開平10-002824
出願日： 1987年06月01日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【目的】ダイアフラム部分の一方主面上の密封室内に基準圧があることを表示する圧力センサを提供する。【構成】ダイアフラム部分の一方主面上にカップ部材を気密に固着して両者間に密封室を形成し、前記密封室内が基準圧(真空)のときにはカップ部材が内方へ偏向するようにして、基準圧の存在を容易に識別可能にする。ダイアフラム組立体をストレス分離層を介して取り付け面に固定さすることにより、取り付け面からの歪みの伝達を低減し、測定誤差を減少する。

請求項（抜粋）：

その周縁のリム部分を支持されたダイアフラム部分と、静止位置からのダイアフラム部分の振れの関数として変化する出力を発生する手段と、周囲縁および、支持面に前記ダイアフラム部分を接続するための取付け面を形成する手段を備える支持手段と、前記ダイアフラム部分の、前記支持手段とは反対の側の主面上に横たわるカップ部材とを具備し、前記カップ部材は、前記ダイアフラム部分を支持する前記周囲縁と実質的に整列し、かつ前記リム部分にシール結合された周囲壁、および前記ダイアフラム部分から隔離されたベース壁を有し、前記カップ部材のベース壁は、該ベース壁とダイアフラム部分との間の空間が真空である場合に、前記ダイアフラム部分の方へ偏向することを特徴とする真空表示装置付き圧力センサー。

IPC (2件)：

G01L 19/00 ,  G01L 9/04 101

FI (2件)：

G01L 19/00 Z ,  G01L 9/04 101