特許

J-GLOBAL ID：200903021525932241

微粒子除去装置

発明者： 岡田 政志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114140
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 荷電粒子線を用いた露光装置に使用されるレチクルの開口中の側壁に付着した微粒子を効果的に除去することができる微小粒子除去装置を提供する。【解決手段】 パルスレーザー1から、パルスレーザー光2をレチクル4に照射すると、レチクル4の照射部分は急激に熱膨張する。このとき、レチクル4の表面や開口の側壁に付着している微粒子は、加速度を与えられてレチクルの表面や側壁から離脱する。レチクル4には、ガス供給装置8からガス管6を介してガスが導入されているので、レチクル4の開口の中はガスが流れている。開口の側壁から離脱した微粒子は、ガスの流れに乗って開口中を移動し、最終的に開口の外に押し流されて除去される。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線露光装置用のレチクルに付着した微粒子を除去するための装置であって、前記レチクルを保持する手段と、前記レチクルにパルスレーザー光を照射するパルスレーザー光発生手段と、前記レチクルにガスを流す手段を備えることを特徴とする微小粒子除去装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23K 26/16 ,  G03F 1/08 ,  G03F 1/16

FI (5件)：

H01L 21/30 503 G ,  B23K 26/16 ,  G03F 1/08 X ,  G03F 1/16 B ,  H01L 21/30 541 Z

Fターム (16件)：

2H095BA08 ,  2H095BB30 ,  4E068AH00 ,  4E068CA01 ,  4E068CG01 ,  4E068CG04 ,  4E068CJ10 ,  4E068DA11 ,  5F046AA21 ,  5F046AA28 ,  5F046DA29 ,  5F046GA20 ,  5F046GD10 ,  5F056AA22 ,  5F056FA07 ,  5F056FA10