特許
J-GLOBAL ID：200903021537240450
カーボン系物質で形成されたエミッタを有する電界放出表示素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-321404
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007201
出願日： 2001年10月19日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：
【要約】【課題】 製造工程中にエミッタの表面が損傷を受けて電界放出能力が低下することを防止するようにする。【解決手段】 基板4上に複数のカソード電極6を形成し、カソード電極6の各々の上にカーボン系物質を含むエミッタ素材12を形成し、基板4上に液状のエミッタ表面処理体20をエミッタ素材12が覆われるように塗布し、エミッタ表面処理体20を固形化し、そして物理的エネルギーで固形状のエミッタ表面処理体20を基板4から除去してカーボン系物質がエミッタ素材12の表面に露出されるように処理する。
請求項（抜粋）：
基板上に複数のカソード電極を形成し、前記カソード電極の各々の上にカーボン系物質を含むエミッタ素材を形成し、前記基板上に液状のエミッタ表面処理体を前記エミッタ素材が覆われるように塗布し、前記エミッタ表面処理体を固形化し、そして物理的エネルギーで固形状の前記エミッタ表面処理体を前記基板から除去して前記カーボン系物質が前記エミッタ素材の表面に露出されるように処理することを含む電界放出表示素子の製造方法。
引用特許：
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