特許
J-GLOBAL ID：200903021543041052
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365612
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170868
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：
【要約】【課題】ウェハが飽和温度に達するまでの時間が短く、かつ飽和温度での均熱性に優れた静電チャックを提供する。【解決手段】静電チャック1のガス溝8を、等間隔に配置された複数の放射状溝5と、放射状溝5と連通し、同心円状に配置された複数の環状溝6と、中心より1つ目の環状溝以降の領域で、隣り合う2つの環状溝6と隣り合う2つの放射状溝5で囲まれる各設置面を2つ以上に分断する少なくとも一つの放射方向に延びる仕切り溝8とから構成し、隣り合う2つの環状溝6と隣り合う2つの放射状溝5で囲まれる設置面3bと、隣り合う2つの環状溝6と放射状溝5及び仕切り溝7で囲まれる設置面3cと、隣り合う2つの環状溝6と隣り合う2つの仕切り溝7で囲まれる設置面3dが各々略同等の面積となるようにする。
請求項（抜粋）：
静電吸着用電極を埋設した円盤状セラミック体の一方の主面にガス導入口と、該ガス導入口と連通するガス溝を備え、該ガス溝を除く上記円盤状セラミック体の一方の主面を、ウェハの設置面として成る静電チャックにおいて、上記ガス溝は、等間隔に配置された複数の放射状溝と、該放射状溝と連通し、同心円状に配置された複数の環状溝と、中心より少なくとも2つ目の環状溝以降の領域で、隣り合う2つの環状溝と隣り合う2つの放射状溝とで囲まれる各設置面を2つ以上に分断する少なくとも一つの仕切り溝とからなり、隣り合う2つの環状溝と隣り合う2つの放射状溝とで囲まれる設置面と、隣り合う2つの環状溝と放射状溝及び仕切り溝とで囲まれる設置面と、隣り合う2つの環状溝と隣り合う2つの仕切り溝とで囲まれる設置面が各々略同等の面積を有することを特徴とする静電チャック。
Fターム (8件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA16
, 5F031HA37
, 5F031HA38
, 5F031HA40
, 5F031MA28
, 5F031MA32
