特許
J-GLOBAL ID：200903021545028630
光学プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215895
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034129
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 光をプローブとして波長よりも細かい構造を計測するために、波長よりも微小なスポットを作る。【構成】 光プローブにエバネッセント波を発生する同心円状回折格子を設け、光の波長よりも細かいエバネッセント波のスポットを回折格子の中心に作る。このスポットと試料との相互作用を検出することによって、試料の微細な構造を計測する。この系ではエバネッセント波の波長は回折格子の格子間隔によって決まり、格子間隔をせばめれば任意の波長で任意の径の微小スポットが得られ、横方向の高分解能が実現できる。
請求項（抜粋）：
エバネッセント波を発生する回折格子を有することを特徴とする光学プローブ。
IPC (4件)：
G01B 11/30
, G02B 27/44
, G02B 27/56
, G11B 7/135
