特許
J-GLOBAL ID:200903021546051830

分光顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 良平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-351144
公開番号(公開出願番号):特開平7-198596
出願日: 1993年12月29日
公開日(公表日): 1995年08月01日
要約:
【要約】【目的】 分光顕微鏡においてリダンダンシーアパーチャの絞り量の調整が容易かつ正確に行なわれるようにする。【構成】 第1アパーチャ10の絞り量を検出するためにエンコーダとUP/DOWNカウンタを、リダンダンシーアパーチャ(第2、第3アパーチャ)20、30の絞り量を変更するためにモータ及びモータドライバを、それぞれ設け、CPU11が、第2、第3アパーチャの絞り量が第1アパーチャと一致するようにモータを制御する。
請求項(抜粋):
光源からの光を試料に照射し、試料からの透過光又は反射光を検出器で検出してスペクトルを測定する分光分析に使用される分光顕微鏡において、a)試料と検出器との間の光路中に設けられた視野制限可変アパーチャと、b)光源と試料との間の光路中に設けられたリダンダンシーアパーチャと、c)視野制限可変アパーチャの絞り量を検出する検出手段と、d)リダンダンシーアパーチャの絞り量を変える変更手段と、e)検出手段によって検出された絞り量に基づき、リダンダンシーアパーチャが視野制限可変アパーチャによって制限された視野と等価な視野を与えるように、変更手段によってリダンダンシーアパーチャの絞り量を変える制御手段と、を備えたことを特徴とする分光顕微鏡。
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G01N 21/35

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