放電プラズマ処理方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-143170
公開番号（公開出願番号）：特開2003-338398
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】リモート方式のプラズマ処理において、対向電極の放電空間に供給する処理ガスの流量を多くしなくても高い処理効果が得られるようにする。【解決手段】所定の間隔をあけて互いに対向する一対の電極2,3からなる対向電極1間に電界を印加することによりグロー放電プラズマを発生させ、そのグロー放電プラズマをプラズマ発生空間外に配置された被処理体Fに吹き付けて処理を行う処理方法において、対向電極1の電圧印加の電極2のプラズマ吹き出し側に補助接地電極4を設け、その補助接地電極4と電圧印加の電極2との間に補助グロー放電プラズマ(例えば空気プラズマ)を発生させ、その補助グロー放電プラズマを対向電極1間で発生するグロー放電プラズマとともに被処理体Fに導いて処理を行う。

請求項（抜粋）：

所定の間隔をあけて互いに対向する一対の電極を有し、その一対の電極の少なくとも一方の電極対向面に固体誘電体が設けられてなる対向電極間に、電界を印加することによりグロー放電プラズマを発生させ、そのグロー放電プラズマをプラズマ発生空間外に配置された被処理体に吹き付けて処理を行う処理方法において、前記対向電極の電圧印加側の電極のプラズマ吹き出し側に、その電圧印加側の電極先端面と所定の間隔をあけて対向する補助接地電極を設けて、この補助接地電極と前記電圧印加側の電極との間に補助グロー放電プラズマを発生させ、その補助グロー放電プラズマを前記対向電極間で発生するグロー放電プラズマとともに被処理体に導くことを特徴とする放電プラズマ処理方法。

IPC (7件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08 , C23C 16/505 , C23C 16/513 , C23F 4/00 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (7件)：

H05H 1/24 , B01J 19/08 E , C23C 16/505 , C23C 16/513 , C23F 4/00 A , H01L 21/31 C , H01L 21/302 101 E

Fターム (73件)：

4G075AA24 , 4G075AA30 , 4G075BA06 , 4G075CA03 , 4G075CA16 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB01 , 4G075EC21 , 4G075FC15 , 4K030CA02 , 4K030CA04 , 4K030CA05 , 4K030CA06 , 4K030CA07 , 4K030CA12 , 4K030CA17 , 4K030FA01 , 4K030JA05 , 4K030JA09 , 4K030JA12 , 4K030KA15 , 4K030KA17 , 4K030KA19 , 4K030KA30 , 4K057DA20 , 4K057DB01 , 4K057DD01 , 4K057DE01 , 4K057DE06 , 4K057DE07 , 4K057DE08 , 4K057DE20 , 4K057DG07 , 4K057DG13 , 4K057DG15 , 4K057DG16 , 4K057DG20 , 4K057DM06 , 4K057DM37 , 4K057DN01 , 4K057DN10 , 5F004AA14 , 5F004AA16 , 5F004BA03 , 5F004BA04 , 5F004BA06 , 5F004BB18 , 5F004BB24 , 5F004BB28 , 5F004BD01 , 5F004CA05 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA02 , 5F004DA07 , 5F004DA18 , 5F004DA21 , 5F004DA25 , 5F004DA26 , 5F004DA27 , 5F045AA08 , 5F045AB31 , 5F045AB32 , 5F045AE29 , 5F045BB08 , 5F045BB20 , 5F045DP03 , 5F045DP27 , 5F045DQ10 , 5F045EH13 , 5F045EH18

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