特許
J-GLOBAL ID：200903021552881837
露光用マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-338256
公開番号（公開出願番号）：特開平7-199448
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 補助開孔部を設けることにより主開孔部の解像性能を向上させることができ、且つ補助開孔部を暗部として形成することを可能とした露光用マスクを提供すること。【構成】 透光性基板上にマスクパターンが形成された露光用マスクにおいて、マスクパターンは、露光すべきパターン201,202に対応して設けられ、隣接するもの同士で透過光の位相が互いに180度異なる主開孔部211,212と、隣接する主開孔部の中間に設けられた補助開孔部220を具備するもので、補助開孔部220は、隣接するもの同士で透過光の位相が互いに180度異なる領域221,222に二分され、領域221の透過光の位相が該領域に面する主開孔部211の透過光に対して180度異なり、領域222の透過光の位相が該領域に面する主開孔部212の透過光に対して180度異なるように設定されている。
請求項（抜粋）：
透光性基板上に所望パターンの開孔部を有するマスクパターンが形成された露光用マスクにおいて、前記マスクパターンは、露光すべきパターンに対応して設けられ、且つ隣接するもの同士で透過光の位相が同相又は互いに180度異なる主開孔部と、隣接する主開孔部の中間に設けられた補助開孔部とからなり、前記補助開孔部は、隣接するもの同士で透過光の位相が互いに180度異なるように少なくとも2つの領域に分割され、且つ前記補助開孔部のうち前記主開孔部に面する領域は、該領域を透過する光の位相が該領域に面する主開孔部を透過する光に対して180度異なるように設定されてなることを特徴とする露光用マスク。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 528
