特許
J-GLOBAL ID：200903021561141315
斜出射X線回折測定装置及びこれを用いた斜出射X線回折測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327275
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141675
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 斜出射X線回折測定を行う場合において、試料を透過したX線で発生する空気散乱によるバックグラウンドを低減させることにより、所望のS/B比を有する回折パターンを測定する。【解決手段】 試料3とX線検出器6との間に、回折X線5を遮蔽することなく、試料3を透過した透過X線11の光路がX線検出器6から見えないように遮蔽体13を配置する。斜出射X線回折測定を行う場合は、X線源9から放射された一次X線4の一部が試料3を透過し、試料3を透過した透過X線11により試料3の周辺で空気散乱及び散乱X線が発生するが、この空気散乱及び散乱X線が遮蔽体13にて遮蔽され、X線検出器6にて回折X線5のみが検出される。このため、空気散乱及び散乱X線によるバックグラウンドが低減され、所望のS/B比を有する回折パターンが測定される。
請求項（抜粋）：
試料の表面に一次X線を照射するX線源と、該試料に対する該一次X線の照射領域を制限するための照射領域制限手段と、前記一次X線が該試料の表面に対して予め決められた角度よりも小さな角度で回折されるように規定する規定手段と、前記試料の表面にて回折された回折X線を検出するとともに、該回折X線の、前記一次X線の入射方向に対する出射角度及びX線強度を測定するX線検出器とを有してなる斜出射X線回折測定装置であって、前記試料と前記X線検出器との間に、前記回折X線を遮蔽することなく、前記試料を透過した前記一次X線の光路が前記X線検出器から見えないように配置された遮蔽体を有することを特徴とする斜出射X線回折測定装置。
Fターム (22件)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA03
, 2G001DA08
, 2G001DA10
, 2G001EA09
, 2G001GA01
, 2G001GA05
, 2G001GA13
, 2G001JA08
, 2G001KA01
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001NA06
, 2G001NA15
, 2G001NA17
, 2G001PA12
, 2G001QA01
, 2G001QA10
