特許
J-GLOBAL ID：200903021563416907
酸化処理装置及び酸化処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-314356
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142460
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 減圧下でのウエット酸化処理を可能にした酸化処理装置及び酸化処理方法を提供することにある。【構成】 被処理体Wを高温下で酸化処理する処理炉1と、この処理炉1を減圧する減圧手段13と、前記処理炉1外に設けられ水素ガスと酸素ガスを燃焼させて水蒸気を発生させる燃焼装置23と、この燃焼装置23と前記処理炉1を接続する水蒸気供給管路24と、この水蒸気供給管路24に設けられ燃焼装置23側と処理炉1側に圧力差を生じさせる絞り部46とを備えている。これにより燃焼装置23における安定した燃焼が確保されるため、減圧下でのウエット酸化処理が可能となる。
請求項（抜粋）：
被処理体を高温下で酸化処理する処理炉と、この処理炉を減圧する減圧手段と、前記処理炉外に設けられ水素ガスと酸素ガスを燃焼させて水蒸気を発生させる燃焼装置と、この燃焼装置と前記処理炉を接続する水蒸気供給管路と、この水蒸気供給管路に設けられ燃焼装置側と処理炉側に圧力差を生じさせる絞り部とを備えたことを特徴とする酸化処理装置。
IPC (2件)：
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