特許

J-GLOBAL ID：200903021566395641

半導体ウエハカセツトキヤリア

発明者： 大川 吉徳
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-301297
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114641
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】 カセットの溝に識別用マークを設け、このマークをセンサによって検出してアームの位置補正を行うことで、カセットに歪みが生じても自動ロボットによる半導体ウエハのローディング/アンローディングを可能にする。【構成】 半導体ウエハ3を支持する溝2a,2bを側壁の内側の対向位置に連続に形成したカセット1に対し、自動ロボットのアーム7によって溝2a,2bに半導体ウエハ3を水平にローディング/アンローディングする半導体ウエハカセットキャリアにおいて、溝2a,2bの各々の近傍に設けられる識別マーク6と、アーム7に一体的に設けられて識別マーク6を検出するセンサ9a,9bとを備え、センサ9a,9bの出力に基づいて識別マーク6に対応する溝2a,2bにアーム7の位置を合わせる。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハを支持する溝を側壁の内側の対向位置に連続に形成したカセットに対し、自動ロボットのアームによって前記溝に半導体ウエハを水平にローディング/アンローディングする半導体ウエハカセットキャリアにおいて、前記溝の各々の近傍に設けられる識別用のマークと、前記アームに一体的に設けられて前記マークを検出するセンサとを備え、該センサの出力に基づいて前記マークに対応する溝に前記アームの位置を合わせることを特徴とする半導体ウエハカセットキャリア。