特許

J-GLOBAL ID：200903021571175757

離型シートの製造方法

発明者： 三宅 啓介 ,  湯浅 基和
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-247012
公開番号（公開出願番号）：特開平11-080960
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 大気圧程度の圧力下で、放電プラズマを安定的に発生させて、離型シートに未反応化合物を残さずに、優れた離型能力を有する離型シートを能率的に製造する方法を提供する。【解決手段】 ガス状フッ素化合物を含むガス雰囲気の大気圧近傍の圧力下で、対向電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該対向電極間にシート材料を挿通すると共にパルス化された電界を印加することにより発生させた放電プラズマをシート材料の少なくとも片面に接触させて、該シート材料の上にフッ素系薄膜を形成させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガス状フッ素化合物を含むガス雰囲気の大気圧近傍の圧力下で、対向電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該対向電極間にシート材料を挿通すると共にパルス化された電界を印加することにより発生させた放電プラズマをシート材料の少なくとも片面に接触させて、該シート材料の上にフッ素系薄膜を形成させることを特徴とする離型シートの製造方法。

IPC (2件)：

C23C 16/50 ,  C08J 7/00 306

FI (2件)：

C23C 16/50 ,  C08J 7/00 306