特許
J-GLOBAL ID：200903021571182311
測定顕微鏡装置、その表示方法、及びその表示プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-163137
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012192
出願日： 2002年06月04日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】測定に係るオペレータの負担を軽減させる。【解決手段】多点測定が開始されると、オペレータの指示に応じてメッシュ状に分割した測定領域上にXYテーブルの現在位置を示すマークを表示すると共に、それが含まれるメッシュ領域を他のメッシュ領域と区別可能に表示する。XYテーブルが移動され、XYテーブルが三次元座標データを取得していないメッシュ領域に入ると、オートフォーカスを実行して合焦時の測定点の三次元座標データを取得し、そのメッシュ領域を、三次元座標データを取得していないメッシュ領域と識別可能に表示する。これにより、オペレータは、三次元座標データを取得した領域と取得していない領域を容易に識別可能になり、三次元座標データを取得すべき測定点を見失うことを回避でき、上記課題が解決される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
測定対象物が載置されるXYステージと、該XYステージに対し垂直な方向に相対移動可能なZステージを有する拡大光学系と、前記XYステージ及び前記Zステージの座標を検出する検出手段と、前記測定対象物の測定点と前記拡大光学系との相対距離を一定に保つオートフォーカス手段とを有する測定顕微鏡装置であって、
測定領域を分割する分割手段と、
該分割手段により分割された領域に前記検出手段により検出された前記XYステージの座標が含まれたときに前記オートフォーカス手段を動作させて前記測定対象物の三次元座標データを取得する取得手段と、
前記測定領域を表示させるときに、前記三次元座標データが取得された領域と取得されていない領域を識別できるように表示させると共に、前記XYステージの現在位置が含まれる領域と他の領域を区別できるように表示させる表示手段と、
を備えたことを特徴とする測定顕微鏡装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/00 B
, G01B11/24 A
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065FF10
, 2F065FF67
, 2F065GG04
, 2F065HH04
, 2F065HH13
, 2F065JJ09
, 2F065LL30
, 2F065PP02
, 2F065PP12
, 2F065PP24
, 2F065QQ00
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065SS01
, 2F065SS03
, 2F065SS13
