特許
J-GLOBAL ID：200903021584311773
研磨媒体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-161437
公開番号（公開出願番号）：特開2004-009145
出願日： 2002年06月03日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】支持体上に形成した研磨層表面からの研磨砥粒の脱落を防止しつつ、高い研削力を有する研磨媒体を提供する。【解決手段】研磨砥粒31を樹脂結合剤32に分散させた研磨層3を支持体2上に設けてなる研磨媒体1であって、研磨層3の表面に、露出した研磨砥粒31の間を薄く埋める樹脂による脱粒防止皮膜5を設けてなる。脱粒防止皮膜5は、粘度の低い樹脂液が砥粒31の先端で滞留することなく、砥粒31間の底部にて固まり、この砥粒31を保持する網目構造を形成して脱粒を防止する。砥粒31の頂部は露出して高い研削力が保持できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
研磨砥粒を樹脂結合剤に分散させた研磨層を支持体上に設けてなる研磨媒体において、
前記研磨層の表面に、露出した研磨砥粒の間を薄く埋める樹脂による脱粒防止皮膜を設けてなることを特徴とする研磨媒体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
3C063BA37
, 3C063BB04
, 3C063BC03
, 3C063CC16
, 3C063FF22
