3次元形状検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡崎謙秀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-137241
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005348
出願日： 1994年06月20日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【構成】パターン投影手段(90)により検査対象物上にパターンを形成し、画像入力手段(91)によりパターン投影された対象物の画像をディジタル化して画像メモリに蓄積し、パターン位置検出手段(92)によって、各パターン検出範囲内でのパターン位置検出を行い、ニューラルネットワークによる良否判別手段(93)によって検出されたパターンの位置を入力、良否判定結果を出力とするニューラルネットワークにより判定を行う。【効果】面状の広がりを持つパターンより複数の情報が得られた場合においても、それを用いて判断を行う基準を手間をかけずに決定することが可能である。またさらに、測定精度がよくかつ細密な位置における高さ情報を得ることも可能となる。

請求項（抜粋）：

パターン照射手段により被検査物表面にパターンを形成する第一の工程と、視覚センサが前記の被検査物を撮像して出力した映像信号をディジタル化して画像データとする第二の工程と、前記画像データより画像上の特定領域内でのパターンの位置を検査する第三の工程と、前記パターンの位置より被検査物の良否を判別する第四の工程を有し、第四の工程では検査されたパターン位置を入力し、判別結果を出力するニューラルネットワークにより判別を行うことを特徴とする3次元形状検査方法。

IPC (3件)：

G01B 11/24 , G06T 7/00 , G06T 1/00

FI (3件)：

G06F 15/62 400 , G06F 15/62 415 , G06F 15/64 M

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