特許

J-GLOBAL ID：200903021589936402

平面研磨用定盤

発明者： 古 澤 四 郎 ,  中 條 吉 広
出願人/特許権者： スピードファム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362666
公開番号（公開出願番号）：特開平11-170162
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】 定盤に、流路長の等しい複数の冷却流路を複数の円周溝によって簡単に形成できるようにする。【解決手段】 円周の一部が不連続となった偶数の大きさが異なる円周溝11,12,13,14,15,16を、定盤の中心軸線Lの回りに同心円状に等間隔で形成し、定盤1の外周側及び内周側から数えて同じ順位に位置する円周溝11と16、12と15、13と14を連通孔17,18,19で相互に接続する。

請求項（抜粋）：

円周の一部が不連続となった複数の大きさが異なる冷媒流通用の円周溝を定盤中心の回りに同心円状に形成し、内外適数ずつの円周溝を連通孔で相互に接続することにより、流路長の等しい複数の冷却流路を形成したことを特徴とする平面研磨用定盤。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (4件)：

B24B 37/04 A ,  B24B 37/00 J ,  H01L 21/304 621 C ,  H01L 21/304 622 F