特許
J-GLOBAL ID：200903021591787732
回転テーブル駆動方法及び回転テーブル装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-309997
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117775
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、サーボモータにより回転テーブルを駆動し、コマンドによって回転テーブルの原点位置戻し及びサーボモータによる停止保持等を行うことを目的とする。【解決手段】 本発明による回転テーブル駆動方法及び回転テーブル装置は、回転テーブル(3)を制御器(12)を有するサーボモータ(5)で作動させ、この制御器(12)に送信されるコマンド(20)によって回転テーブル(3)の位置決め及び原点位置戻しを行い、信号ケーブル(8)を案内したガラスエポキシ積層管(2)によって回転テーブル(3)を断熱支持した構成である。
請求項（抜粋）：
基台(1A)に設けられたサーボモータ(5)により回転すると共にその上部に被検査体(6)を載置するための回転テーブル(3)と、前記サーボモータ(5)の回転を制御するための制御器(12)とを有し、前記制御器(12)にコマンド(20)を送ることにより前記回転テーブル(3)の回転を前記サーボモータ(5)により制御すると共に、前記コマンド(20)の中のコマンド(HOM)を前記制御器に送ることにより前記回転テーブル(3)を原点位置に戻すことを特徴とする回転テーブル駆動方法。
Fターム (1件)：
引用特許：
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