マイクロメカニカルデバイス用支柱

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-192690
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062518
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【課題】マイクロメカニカルデバイスの可動要素のための支柱を作製する進歩した方法を得る。【解決手段】支柱(16)の外面を定義するビア(34a)がスペーサー層(34)中へエッチされる。スペーサー層(34)を覆い、ビア(34a)の中へ酸化物層(41)が相似被覆的に堆積され、次にスペーサー層(34)の上面までエッチバックされて、ビア(34a)の内面に側壁リング(23a)が残される。次に、スペーサー層(34)を覆い、ビア(34a)の中へ金属層(61)が堆積されて、側壁リング(23a)が被覆される。この金属層(61)は次にエッチされて、ビア(34a)の内部に支柱ステム(23)が形成される。スペーサー層(34)が除去されて、支柱ステム(23)とステム(23)囲りの側壁リング(23a)とが残される。

請求項（抜粋）：

メカニカル要素のための支柱を有する型の進歩したマイクロメカニカルデバイスであって、後に除去されるスペーサー層中のビアの中へステム材料を堆積させることによって作製される支柱ステム、および前記ステムの外周を取り囲む側壁リングであって、前記ステム材料の堆積の前に、前記スペーサー層を覆い、前記ビアの中へ酸化物層を堆積させ、そして前記酸化物層をエッチバックすることによって作製される側壁リング、を有する支柱を含むことを特徴とするマイクロメカニカルデバイス。

引用特許：

審査官引用 (2件)

光ビーム操縦の方法と装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-340771 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特開昭61-116324

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