特許

J-GLOBAL ID：200903021614706000

干渉計ミラーを有するステージ装置

発明者： 青木 淳行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-086762
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280821
出願日： 1996年04月09日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 X軸位置計測用干渉計ミラーとY軸位置計測用干渉計ミラーの直交度を簡単に計測する。【解決手段】 ステージ1に1つのマークAM1を設け、X軸方向に所定間隔で設けられた一対の顕微鏡6b,6cを介してCCD7でマークAM1を撮像してその位置を検出する。Y軸方向に所定間隔で設けられた一対の顕微鏡6a,6bを介してCCD7でマークAM1を撮像してその位置を検出する。顕微鏡6b,6cを介して検出されたマークAM1のY位置および顕微鏡6a,6bを介して検出されたマークAM1のX位置に基づいて、X軸位置計測用干渉計ミラー5XaとY軸位置計測用干渉計ミラー5Yaの直交度を演算する。

請求項（抜粋）：

直交するX軸方向とY軸方向に移動するステージと、前記ステージと一体に設けられたX軸およびY軸位置計測用干渉計ミラーとを備えるステージ装置において、前記ステージに設けられた1つのマークと、前記X軸方向に所定間隔で設けられた一対の第1の検出手段と、前記Y軸方向に所定間隔で設けられた一対の第2の検出手段と、前記ステージを前記X軸方向に移動させて前記マークを前記第1の検出手段のそれぞれに順次に対向させるとともに、前記ステージを前記Y軸方向に移動させて前記第2の検出手段のそれぞれに順次に対向させるステージ制御手段と、前記一対の第1の検出手段で検出された前記マークのY位置および前記一対の第2の検出手段で検出された前記マークのX位置に基づいて、X軸位置計測用干渉計ミラーとY軸位置計測用干渉計ミラーの直交度を演算する演算手段とを具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A