アクティブ除振方法及び除振装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-319953
公開番号（公開出願番号）：特開平6-159433
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】位置決めの速応性と大きな制振効果との双方を同時に満たし得る安定なアクティブ除振制御を実現する。【構成】床Fと床F上に空気ばね1を介して支持される荷Lとの相対高さを検出し、空気ばね1に対する空気の給排系に配設されたサーボバルブ6を床F及び荷L間の相対高さに基づいて駆動して空気ばね1の内圧を調整し、荷Lの位置と振動とを制御する場合において、サーボバルブ6への制御出力から荷Lの変位までの実機に基づいて設定したノミナルモデルの伝達関数Pn の逆伝達関数Pn -1、希望する目標値追従特性の伝達関数F及び相補感度関数Tを用い、床F及び荷L間の相対高さ目標値Xr 及び上記検出された相対高さXに基づき、サーボバルブ6への制御出力uを式u=F・Pn -1・Xr -T・(Pn -1・X-u)で設定して、目標値追従特性と外乱抑圧特性とを独立して指定可能とする。

請求項（抜粋）：

設置対象物と該設置対象物上に空気ばねを介して支持される荷との間の相対高さを検出し、上記空気ばねに対する空気の給排系に配設されたサーボバルブを上記設置対象物及び荷間の相対高さに基づいて駆動して空気ばねの内圧を調整し、荷の位置と振動とを制御するアクティブ除振方法であって、サーボバルブへの制御出力から荷の変位までの実機に基づいて設定したノミナルモデルの伝達関数Pn の逆伝達関数Pn -1、希望する目標値追従特性の伝達関数F及び相補感度関数Tを用い、設置対象物及び荷間の相対高さ目標値Xr 及び上記検出された相対高さXに基づき、サーボバルブへの制御出力uを式u=F・Pn -1・Xr -T・(Pn -1・X-u)で設定することにより、目標値追従特性と外乱抑圧特性とを独立して指定可能としたことを特徴とするアクティブ除振方法。

IPC (5件)：

F16F 15/02 , F16F 9/04 , F16F 9/50 , G05D 19/02 , E04F 15/18

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平1-258011
特開昭63-244209
特開平1-269109

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