ワイヤソー又はバンドソー用水性研削液

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-137059
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327838
出願日： 1999年05月18日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【目的】砥粒分散性,耐砥粒沈降性,粘度等の特性が長時間にわたって高位に安定し、油性スラリーにみられた引火性や特異な臭気がなく、切り出されたウェーハや装置の洗浄・清掃が容易な水性スラリーを提供する。【構成】この水性研削液は、多価アルコール及び/又は多価アルコール誘導体40.0〜95.0重量%,水分5.0〜50.0重量%,ベントナイト膨潤粒子0.1〜3.5重量%,セルロース0.1〜5.0重量%及び雲母0.5〜10.0重量%からなる組成をもつ。ベントナイト膨潤粒子,セルロース及び雲母は、回転円筒型粘度計で測定したスラリーの粘度が150〜300mPa・秒の範囲に収まるように複合添加されることが好ましい。

請求項（抜粋）：

多価アルコール及び/又は多価アルコール誘導体:40.0〜95.0重量%,水分:5.0〜50.0重量%,ベントナイト:0.1〜3.5重量%,セルロース:0.1〜5.0重量%及び雲母:0.5〜10.0重量%の組成をもつワイヤソー又はバンドソー用水性研削液。

IPC (6件)：

C08L 1/02 , B24B 27/06 , B24B 57/02 , C08K 3/34 , C08K 5/00 , C08K 5/04

FI (6件)：

C08L 1/02 , B24B 27/06 D , B24B 57/02 , C08K 3/34 , C08K 5/00 , C08K 5/04

Fターム (17件)：

3C047GG00 , 3C058AA05 , 3C058AC04 , 3C058CB01 , 3C058CB02 , 3C058CB10 , 3C058DA02 , 4J002AB011 , 4J002DJ007 , 4J002EC046 , 4J002ED026 , 4J002EF008 , 4J002EG028 , 4J002EG038 , 4J002EH046 , 4J002FD319 , 4J002HA07

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