特許

J-GLOBAL ID：200903021625501426

トラップ装置及びトラップ方法

発明者： 村上 誠志
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-310753
公開番号（公開出願番号）：特開2001-131748
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 排気ガスの流れ方向に沿って偏在させることなく均一に反応副生成物等を付着させて捕獲することができ、これによりメンテナンス周期を大幅に伸ばすことが可能なトラップ装置を提供する。【解決手段】 被処理体Wに成膜処理を施す成膜装置の排気ガス系に設けられて、排気ガス中に含まれる反応副生成物を捕獲するトラップ装置22において、ガス導入口とガス排気口を有して前記排気ガス系に介設される筐体28と、この筐体内に前記排気ガスの流れ方向に沿って多段に設けられて前記反応副生成物を付着させる複数のトラップ部材70A〜70Dと、この複数のトラップ部材を複数のグループに分割して前記排気ガスの流れ方向の最下流に位置するグループを除いて各グループ毎に独立して加熱するために設けられた加熱手段78A〜78Dと、この加熱手段の発する熱量を制御する熱量制御部27とを備える。

請求項（抜粋）：

被処理体に成膜処理を施す成膜装置の排気ガス系に設けられて、排気ガス中に含まれる反応副生成物を捕獲するトラップ装置において、ガス導入口とガス排気口を有して前記排気ガス系に介設される筐体と、この筐体内に前記排気ガスの流れ方向に沿って多段に設けられて前記反応副生成物を付着させる複数のトラップ部材と、この複数のトラップ部材を複数のグループに分割して前記排気ガスの流れ方向の最下流に位置するグループを除いて各グループ毎に独立して加熱するために設けられた加熱手段と、この加熱手段の発する熱量を制御する熱量制御部とを備えたことを特徴とするトラップ装置。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285

FI (3件)：

C23C 16/44 E ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 C

Fターム (13件)：

4K030EA12 ,  4M104BB30 ,  4M104DD44 ,  5F045AB40 ,  5F045AC03 ,  5F045AC12 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045EG08 ,  5F045EJ01 ,  5F045EJ09 ,  5F045EK05 ,  5F045EK27