マイクロセンサの駆動制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309405
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138071
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】結露に起因して発生する電気的な短絡を回避し,どのような使用環境においても出力電圧を得て,センサとしての機能を保証する。【構成】気密性を有する基板に,該基板を積層したとき対向する位置に複数の凹部を設け,前記基板を接合領域を介して積層し,前記凹部で形成された複数の空間に各々検出用及び温度補償用の薄膜発熱体を架橋配置するマイクロセンサの駆動制御装置において,周囲の湿度を検出する湿度検出部101と,湿度検出部101により検出された検出値に基づいてパルス駆動制御と常時通電駆動制御とを選択する制御部103とを具備する。

請求項（抜粋）：

気密性を有する基板に,該基板を積層したとき対向する位置に複数の凹部を設け,前記基板を接合領域を介して積層し,前記凹部で形成された複数の空間に各々検出用及び温度補償用の薄膜発熱体を架橋配置するマイクロセンサの駆動制御装置において,前記マイクロセンサに対し常時通電することを特徴とするマイクロセンサの駆動制御装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-092754
特開昭61-201115
特開昭56-070449

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