特許

J-GLOBAL ID：200903021636230351

感光性樹脂組成物およびその用途

発明者： 佐藤 弘章
出願人/特許権者： 日本合成化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-188147
公開番号（公開出願番号）：特開2000-010275
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 保存安定性に優れ、PDP等の大形ガラス基材上に電極を形成する等のパターン形成用途に有用な感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 重量平均分子量4万〜20万のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を30重量部以上90重量部未満、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなる感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルム。

請求項（抜粋）：

重量平均分子量4万〜20万のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を30重量部以上90重量部未満、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 9/02 ,  H01J 17/49 ,  C08F 2/44 ,  C08L101/00

FI (6件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 17/49 Z ,  C08F 2/44 C ,  C08L101/00

Fターム (83件)：

2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA13 ,  2H025CB55 ,  2H025CC20 ,  2H025DA11 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG061 ,  4J002CH052 ,  4J002EE037 ,  4J002EE047 ,  4J002EE057 ,  4J002EF058 ,  4J002EH037 ,  4J002EH076 ,  4J002EN097 ,  4J002EN117 ,  4J002EU037 ,  4J002EU117 ,  4J002EV067 ,  4J002EV087 ,  4J002EV217 ,  4J002EV307 ,  4J002FD020 ,  4J002FD030 ,  4J002FD090 ,  4J002FD142 ,  4J002FD146 ,  4J002FD157 ,  4J002FD200 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ00 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA33 ,  4J011QA34 ,  4J011QA46 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011RA07 ,  4J011RA10 ,  4J011RA17 ,  4J011SA02 ,  4J011SA03 ,  4J011SA04 ,  4J011SA06 ,  4J011SA14 ,  4J011SA15 ,  4J011SA16 ,  4J011SA17 ,  4J011SA22 ,  4J011SA24 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA28 ,  4J011SA29 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA43 ,  4J011SA48 ,  4J011SA61 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA77 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011TA08 ,  4J011TA10 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  5C027AA01 ,  5C040DD03