特許
J-GLOBAL ID：200903021639197274
蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-221907
公開番号（公開出願番号）：特開平5-059537
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】シャッターに発熱体を設けることにより、常に、斜方蒸着の精度を一定に保つことを可能にし、しかも、シャッターには蒸着されないため、清掃が不必要な、または、必要でも清掃が簡単にすむ蒸着装置を提供する。【構成】ルツボ25に磁性金属2を溶融する蒸着源と磁性金属が蒸着される支持体1との間に、蒸着物である磁性金属の入射角を規制するためのシャッター11が配されていて、このシャッターに発熱体12を設けることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
蒸着源と蒸着される支持体との間に、蒸着物の入射角を規制するためのシャッターが配された蒸着装置において、前記シャッターに、発熱体を設けることを特徴とする蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, C23C 14/56
, G11B 5/85
