特許
J-GLOBAL ID：200903021640622566
XYθステージおよびXYθステージの制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 國男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-187474
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023751
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：
【要約】【課題】 XYθステージにおいて、X方向またはY方向への1つの方向への移動およびXYの2つの方向への移動のステージ位置決め精度を向上させる。【解決手段】 ベース1の水平滑走部2上に載置されX、Y、θ方向に移動可能なテーブル3、このテーブル3をX、Y、θ方向に駆動する3個のアクチュエータ4、5、6、および各アクチュエータ4、5、6の駆動量をテーブル3に伝達する送りねじユニット10、11、12を有するXYθステージにおいて、上記アクチュエータ4、5、6は、ベース1上に固定されたX方向、Y方向のガイド13、14、15上を移動自在であり、他のアクチュエータ4、5、6の駆動に伴い当該ガイド13、14、15に沿って従動的に移動し、また各アクチュエータ4、5、6の送りねじユニット10、11、12とテーブル3とを連結する3個の支点7、8、9は、テーブル3上の定位置にあるように設定されている。
請求項（抜粋）：
水平滑走部を備えたベース、このベースの水平滑走部上に載置されX、Y、θ方向に移動可能なテーブル、このテーブルをX、Y、θ方向に駆動する3個のアクチュエータ、および各アクチュエータの駆動量をテーブルに伝達する送りねじユニットを有するXYθステージにおいて、上記アクチュエータは、ベース上に固定されたX方向、Y方向のガイド上を移動自在であり、他のアクチュエータの駆動に伴い当該ガイドに沿って従動的に移動し、また各アクチュエータの送りねじユニットとテーブルとを連結する3個の支点は、テーブル上の定位置にあることを特徴とするXYθステージ。
IPC (4件)：
G12B 5/00
, B23Q 1/25
, B25J 9/02
, G05D 3/00
G12B 5/00 T
, B25J 9/02 Z
, G05D 3/00
, B23Q 1/02 T
