特許
J-GLOBAL ID：200903021649871623
EOプローブ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-242134
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094760
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 空間分解能の向上を図ることのできるEOプローブを提供する。【構成】 光を透過する基部と、該基部の被測定物に対向する端面に固着され且つ被測定物からの電界の強度に応じて屈折率が変化する電気光学材料と、該電気光学材料の被測定物に対向する端面に固着され且つ上記基部から電気光学材料を透過してくる入射ビームを反射する反射面とを有し、上記反射面を、上記入射ビームのビーム径より小径な鏡面で形成した。又、電気光学材料を極めて薄く形成した。
請求項（抜粋）：
光を透過する基部と、該基部の被測定物に対向する端面に固着され且つ被測定物からの電界の強度に応じて屈折率が変化する電気光学材料と、該電気光学材料の被測定物に対向する端面に固着され且つ上記基部から電気光学材料を透過してくる入射ビームを反射する反射面とを有するEOプローブにおいて、前記反射面は、前記入射ビームのビーム径より小径な鏡面で形成されることを特徴とするEOプローブ。
IPC (3件)：
G01R 19/00
, G02B 1/10
, H01L 21/66
